대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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- Pages.1137-1139
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- 1999
폴리이미드 희생층을 이용한 마이크로 볼로미터의 제작
Fabrication of Microbolometer using Polyimide Sacrificial Layer
- 하원호 (한국과학기술원 정보재료.소자 연구센터) ;
- 강호관 (한국과학기술원 정보재료.소자 연구센터) ;
- 김민철 (한국과학기술원 정보재료.소자 연구센터) ;
- 문성욱 (한국과학기술원 정보재료.소자 연구센터) ;
- 오명환 (한국과학기술원 정보재료.소자 연구센터) ;
- 김도훈 (연세대학교 금속공학과) ;
- 최종술 (연세대학교 금속공학과)
- Ha, W.H. (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kang, H.K. (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, M.C. (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Moon, S. (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Oh, M.H. (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, D.H. (Department of Material Science, Yonsei University) ;
- Choi, J.S. (Department of Material Science, Yonsei University)
- 발행 : 1999.11.20
초록
저가의 우수한 성능을 갖는 적외선 영상표시 소자 구현에 적합한 마이크로 볼로미터를 MEMS 기술을 사용하여 제작하였다. 작은 열질량을 갖는 마이크로미터 단위의 열적고립 구조(thermal isolation structure) 제작은 폴리이미드(PI2611)를 희생층으로 사용하여 최종적으로 ashing공정 단계에서 폴리이미드를 제거하여 마이크로 볼로미터 구조를 완성하였다. 이 때의 구조층으로는 PECVD 질화실리콘(
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