대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

Negative photosensitive glass process에 의한 high aspect ratio 마이크로 구조물의 제조

The fabrication of high aspect ratio microstructures by negative photosensitive glass process

  • 조수제 (LG전자 디스플레이 연구소) ;
  • 류병길 (LG전자 디스플레이 연구소)
  • 발행 : 1999.11.20
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초록

유리 및 세라믹 미세구조물은 열적, 화학적, 기계적특성이 우수하며 이 제조방법으로 대표적인 것이 그라스의 노광, 열처리에 의한 노광부를 선택적으로 에칭시켜 구조물을 형성시키는 감광성그라스 공정이다. 그러나 공정조건을 변화시킴에 따라 기존과는 정반대로 비노광부를 선택적으로 에칭시키는 것이 가능하였으며 본 방식에 의해서 더욱 정밀한 미세구조물을 형성할 수 있음을 확인하였다.

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