Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.11c
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- Pages.500-502
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- 2000
A Study on the Shift of Center Frequencies of Superconducting 14 GHz YBCO Filters
초전도 YBCO 필터의 중심 주파수 변화 연구
- Song, Seok-Cheon (Department of Electronic and Electrical Engineering, Yonsei Univ.) ;
- Lee, Sang-Yeol (Department of Electronic and Electrical Engineering, Yonsei Univ.)
- Published : 2000.11.25
Abstract
고온 초전도 YBCO 박막을 Nd:YAG 레이저를 이용하여 MgO 기판에 증착시켰다. 박막을 마이크로스트립형 통신소자로 제작하기 위해 포토리스그래피 방법으로 습식 에칭을 시켰다. 제작된 박막에 접지면을 입히기 위해 스퍼터링 방식으로 Ti 충을 30 nm 증착하고, 열 증발기로 Ag를
Keywords