한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.62-65
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- 2001
$Cl_{2}$ /$CF_{4}$ /Ar gas chemistry에 의한 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 식각 특성
Etching Kinetics Of $SrBi_2Ta_2O_{9}$ Thin Film in $Cl_{2}$ /$CF_{4}$ /Ar gas Chemistry
초록