$LiNi_{1-x}Co_xO_2$ 양극박막을 이용한 전고상형 마이크로 박막전지의 제작 및 RTA 처리 효과에 관한 연구

Fabrication of all solid-state micro-thin film battery using a $LiNi_{1-x}Co_xO_2$ cathode film and investigation of RTA effect on the surface of the cathode

  • 전은정 (한국과학기술원 박막연구센터) ;
  • 윤영수 (한국과학기술원 박막연구센터) ;
  • 조원일 (한국과학기술원 연료전지센터) ;
  • 김한기 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • 발행 : 2001.11.01