한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

ZrO$_2$ 유전체의 전기적 특성 모델링

Modeling of ZrO$_2$ dielectric characteristics

  • 이봉용 (연세대학교 전기전자공학공학과) ;
  • 허광수 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 박민철 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 유정호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 남서은 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 명재민 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤일구 (연세대학교 전기전자공학공학과)
  • 발행 : 2002.07.01
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초록

In this paper, the performance of high-k dielectric is modeled by observing electrical characteristics through the process and device simulation. ZrO$_2$ on Si substrate is used as test structures to characterize the current-voltage and the capacitance-voltage profiles. In order to verify the simulation results, the experimental results are used as a reference. Based on the modeling results, the methodology can be a potential tool to predict the characteristics of the ZrO$_2$ dielectric.

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