Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05b
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- Pages.66-69
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- 2002
Microcrystalline Silicon Thin Films and Solar Cells by Hot-Wire CVD
Hot-Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막 증착 및 태양전지 응용
- Lee, Jeong-Chul ;
- Yoo, Jin-Su ;
- Kang, Ki-Hwan ;
- Kim, Seok-Ki ;
- Yoon, Kyung-Hoon ;
- Song, Jin-Soo ;
- Park, I-Jun
- 이정철 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 유진수 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 강기환 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 김석기 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 송진수 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) ;
- 박이준 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀)
- Published : 2002.05.17
Abstract
This paper presents deposition and characterizations of microcrystalline silicon