Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

FABRICATION OF ULTRA THIN $IrO_2$-TOP-ELECTRODE FOR IMPROVING EMISSION CURRENT DENSITY IN MIM CATHODES

MIM 구조의 음극 전계 방출 효율 증진을 위한 $IrO_2$ 상부전극의 제조

  • Park, Tae-Joo (School of Materials Science and Engineering and Inter-university Semiconductor Research Center, Seoul National University) ;
  • Jung, Doo-Seok (School of Materials Science and Engineering and Inter-university Semiconductor Research Center, Seoul National University) ;
  • Hwang, Cheol-Seong (School of Materials Science and Engineering and Inter-university Semiconductor Research Center, Seoul National University) ;
  • Park, Min-Soo (LG Electrics Institute of Technology) ;
  • Kang, Nam-Seok (LG Electrics Institute of Technology)
  • 박태주 (서울대학교 재료공학부, 반도체 공동연구소) ;
  • 정두석 (서울대학교 재료공학부, 반도체 공동연구소) ;
  • 황철성 (서울대학교 재료공학부, 반도체 공동연구소) ;
  • 박민수 (LG 전자기술연구원) ;
  • 강남석 (LG 전자기술연구원)
  • Published : 2003.07.10
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Abstract

기존의 FED 용 MIM cathode 에 쓰이는 다층금속상부 전극을 열처리하였을 때 생기는 문제점에 대하여 살펴보았다. 먼저 열처리 후에 상부전극자체가 열변형이 일어나면서 나타나는 비저항의 증가, 표면 형상의 악화 등이 문제점으로 나타났고, 여기에 하부전극의 변형이 이러한 현상을 더욱 악화시키는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 상부전극의 경우 그 두께가 극히 얇아 열변형이 매우 취약한 탓에 대체 물질의 개발이 시급하였다. 산화물전극은 열변형에 대해 매우 안정하여 열처리 후, 비저항이나 표면 형상의 변화가 적으며, 얇은 두께에서도 균일하게 박막이 형성되어 그 특성이 다층금속전극에 비해 매우 뛰어남을 확인하였다.

Keywords