Proceedings of the KSME Conference (대한기계학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)
권호 표지

Direct Patterning of Functional Molecules using Scanning Probe Microscope

주사탐침현미경을 이용한 기능성분자 패터닝

  • 윤완수 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) ;
  • 석성대 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) ;
  • 박형주 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) ;
  • 하동한 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) ;
  • 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 신보성 (한국기계연구원 나노공정그룹)
  • Published : 2003.04.23
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Abstract

주사탐침현미경 (Scanning Probe Microsope, SPM)을 이용하여 직접 패터닝을 함으로써 hexanedithiol 분자의 임의 패턴을 금 표면에 형성하였다. 또한, hexanedithiol 분자는 양단에 thiol 그룹이 존재하여 금과 안정화 화학결합을 이룰 수 있으므로, 금 표면과결합을 이루고 있지 않는 상단의 thiol 그룹에 금 나노 입자를 고정함으로써 나노입자의 패턴을 제작하였다. SPM을 이용한 직접 패터닝 방법은 분자활성을 유지한 채로 임의 패턴을 수십 nm의 선폭으로 구현하는 것이 가능하므로, 나노입자 배열뿐만 아니라, 생화학물질의 패터닝을 통한 바이오 기술연구, 레지스트용 분자 패터닝과 시각 및 흡착 등의 계속적인 공정을 통한 다양한 나노구조 제작 등에 폭넓게 활용될 수 있다.

Keywords