무-유기 하이브리드 재료의 광민감성 및 이를 이용한 패터닝

Direct Patterning in a Photosensitive Inorganic-organic Hybrid Material

  • 박장웅 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김우수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 배병수 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18