FHD법에 의해 증착된 실리카막의 도펀트 첨가에 의한 영향

Influence of Dopant for Silica Thick Film Deposited by FHD

  • 김용탁 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 윤석규 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김제민 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
  • 윤형도 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
  • 임영민 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
  • 윤대호 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18