한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

광도파로를 위한 $LiNbO_3$ 건식 식각시 Bias Power와 Gas 유량이 미치는 영향

Influence of Blas Power and Gas Flow RAte on $LiNbO_3$ Dry Etching for Optical Waveguide

  • 박우정 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 양우석 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
  • 이한영 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
  • 김용탁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 윤대호 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2003.04.18
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