Nanoelectrical Characterization between Pt Tip and n-Si Film Using Scannig Probe Microscope

  • 김윤석 (한국과학기술원 재료공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
  • 김성관 (한국과학기술원 재료공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
  • 홍승범 (삼성종합기술원 Storage Lab.) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과 전자 및 광학재료 연구실)
  • 발행 : 2003.04.18