한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조

Preparation of Boron Carbide Thin Films Coated by Reactive Magnetron Sputtering

  • 이광은 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 이정영 ((주)샘텍 종합기술연구소) ;
  • 박명진 ((주)샘텍 종합기술연구소) ;
  • 김종희 (고기능성자성재료연구센터) ;
  • 이천배 ((주)샘텍 종합기술연구소) ;
  • 김종오 (충남대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18
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