한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- Pages.718-721
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- 2004
RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 기판온도 영향
Influence of Substrate Temperature of SCT Thin Film by RF Sputtering Method
- 오용철 (광운대) ;
- 김진사 (광운대) ;
- 조춘남 (광운대) ;
- 신철기 (광운대) ;
- 송민종 (광주보건대학) ;
- 소병문 (익산대학) ;
- 최운식 (대불대) ;
- 김충혁 (광운대) ;
- 이준웅 (광운대)
- Oh, Y.C. (Kwangwoon Uni) ;
- Kim, J.S. (Kwangwoon Uni) ;
- Cho, C.N. (Kwangwoon Uni) ;
- Shin, C.G. (Kwangwoon Uni) ;
- Song, M.J. (Kwanglu Heath Col.) ;
- So, B.M. (Iksan Co.) ;
- Choi, W.S. (Daebul Uni.) ;
- Kim, C.H. (Kwangwoon Uni) ;
- Lee, J.U. (Kwangwoon Uni)
- 발행 : 2004.07.05
초록
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