Preparation of the cerium silicate thin films by solid phase reaction of CeO$_2$ and Si

  • 김영재 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 안기석 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 정택모 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 김창균 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 김윤수 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
  • 이영국 (한국화학연구원 박막재료연구팀)
  • 발행 : 2005.02.15