Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.73-73
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- 2005
Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas
평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교
- Park, Min-Yeong ;
- Choe, Chung-Gi ;
- Ryu, Hyeon-U ;
- No, Ho-Seop ;
-
Mun, Jun-Hui
;
- Yu, Seung-Yeol ;
- Im, Wan-Tae ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
-
Jeon, Min-Hyeon
;
-
Song, Han-Jeong
;
- Baek, In-Gyu ;
-
Gwon, Min-Cheol
;
- Park, Geon-Su ;
- Yun, Jin-Seong
- 박민영 (인제대학교 나노공학부) ;
- 최충기 (인제대학교 나노공학부) ;
- 류현우 (인제대학교 나노공학부) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부) ;
-
문준희
(인제대학교 나노공학부)
;
- 유승열 (인제대학교 나노공학부) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부)
;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부) ;
-
전민현
(인제대학교 나노공학부, 인제대학교 나노기술 응용연구소)
;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부)
;
- 백인규 ((주)유니벡) ;
-
권민철
((주)유니벡)
;
- 박건수 (부산과학영재고등학교) ;
- 윤진성 (부산과학영재고등학교)
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords