Characterization of $TiO_2$ deposited layer by layer for Re-RAM

($TiO_2$ 박막의 다층 증착에 의한 Re-RAM 특성 변화

  • 김경래 (한양대학교 정보디스플레이공학과) ;
  • 이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 박인성 (한양대학교 디스플레이공학연구소) ;
  • 고한경 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과, 한양대학교 디스플레이공학연구소)
  • Published : 2005.05.26