Fabrication and characterization of MFMISFETs with $Pt/SrBi_2Nb_2O_9/Pt/Y_2O_3/Si$ gate structure

Pt/$SrBi_2Nb_2O_9/Pt/Y_2O_3/Si$ 게이트 구조를 가지는 MFMISFET 의 제작 및 특성

  • 김익수 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 심선일 (한국과학기술연구원 시스템연구부) ;
  • 김용태 (한국과학기술연구원 시스템연구부) ;
  • 최인훈 (고려대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.05.26