Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of Corrosion Inhibitor (BTA) on Citric Acid based Slurry on Cu CMP

Cu CMP 중 Citric Acid 기반의 Slurry 에서 부식방지제(BTA)의 영향

  • 유영삼 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김인권 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 양희광 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 강영재 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 홍의관 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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