한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)

권호 표지

실시간 광학 특성 측정을 위한 초점형 타원계측기술

Focused Beam Ellipsometry: In-line Characterization of Thin Film Optical Properties

예상헌 (한국과학기술원) ;
곽윤근 (한국과학기술원) ;
김수현 (한국과학기술원) ;
조현모 (한국표준과학연구원) ;
조용재 (한국표준과학연구원) ;
제갈원 (한국표준과학연구원)

발행 : 2006.07.01

PDF

PDF 다운로드

⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드