A compact autocollimator for angular motion measurement of a precision stage

정밀 이송대의 회전각 측정을 위한 초소형 자동시준기 제작과 평가

  • 조미정 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 공홍진 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 김종안 (표준과학연구원 길이/시간 그룹) ;
  • 강주식 (표준과학연구원 길이/시간 그룹) ;
  • 김재완 (표준과학연구원 길이/시간 그룹)
  • Published : 2006.07.01