Polarization sensitive effects of light source and optical components in ellipsometry

타원계측기에서 광원과 광학부품의 편광특성 영향

  • 제갈원 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 나노바이오융합 연구단) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 나노바이오융합 연구단) ;
  • 조용재 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 나노바이오융합 연구단) ;
  • 예상헌 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 나노바이오융합 연구단)
  • Published : 2006.07.01