Bias effect of nanostructured hydrogen free carbon films prepared by CFUBMS

  • 김성일 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면 기술 연구센터) ;
  • 최동훈 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면 기술 연구센터) ;
  • 이호영 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면 기술 연구센터) ;
  • 김갑석 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면 기술 연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면 기술 연구센터)
  • Published : 2006.10.19