Surface Morphology Changes by Thermal Annealing of Various Planes of Sapphire Substrates for Epitaxial ZnO Growth

에피탁시 ZnO 성장용 다양한 면 사파이어 가판의 열처리에 따른 표면 형상의 변화

  • 이재욱 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 한석규 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 홍순구 (충남대학교 재료공학과)
  • Published : 2006.10.19