Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Etch Microtrenching of Silicon Oxynitride

실리콘 옥시나이트라이드의 플라즈마 식각 마이트로 트렌치

  • 김병환 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 이병택 (전남대학교 재료과학 공학과)
  • Published : 2006.04.01
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