Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Surface Decontamination of Silicon Ingot using Dry Ice Snow Particle

드라이아이스 눈입자를 이용한 실리콘 잉곳의 표면제염

  • 주민수 (경희대학교 원자력공학과 청정제염연구실(GNRL)) ;
  • 고문성 (경희대학교 원자력공학과 청정제염연구실(GNRL)) ;
  • 박광헌 (경희대학교 원자력공학과 청정제염연구실(GNRL)) ;
  • 김광득 (데콘엔지니어링 ㈜)
  • Published : 2006.04.01
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Abstract

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