Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Development of an carbon ion source using inductive coupled Plasma

유도결합플라즈마를 이용한 Carbon Ion Source 개발

  • 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 최대한 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 장호성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 김유성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 이재영 (울산대학교 첨단소재공학부)
  • Published : 2006.04.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords