Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.115-116
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- 2006
Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering
반응성 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 AIN 박막의 구조변화
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Choe Dae-Han
;
- Jang Ho-Seong ;
- Choe Bi-Gong ;
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Kim Yu-Seong
;
- Lee Jin-Hui ;
- Cheon Hui-Gon ;
- Lee Jae-Yeong ;
- Yu Yong-Ju ;
-
Kim Dae-Il
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최대한
(울산대학교 첨단소재공학부)
;
- 장호성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 최비공 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
-
김유성
(울산대학교 첨단소재공학부)
;
- 이진희 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 이재영 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 유용주 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
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김대일
(울산대학교 첨단소재공학부)
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords