The effects of negative carbon ion beam energy on the properties of DLC films

탄소 음이온 에너지가 DLC 박막 물성에 미치는 영향

  • 최비공 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 최대한 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 장호성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 김유성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 이진희 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 윤기성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 유용주 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
  • Published : 2006.04.01