Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.119-120
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- 2006
Deposition of polycrystalline Si thin film on glass substrates by using a direct negative Si ion beam source
직접 금속 음이온 빔 장치를 이용한 다결정 Si 박막 증착
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Kim Yu-Seong
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Choe Dae-Han
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- Choe Bi-Gong ;
- Jang Ho-Seong ;
- Lee Jin-Hui ;
- Park Ji-Hye ;
- Yu Yong-Ju ;
- Cheon Hui-Gon ;
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Kim Dae-Il
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김유성
(울산대학교 첨단소재공학부)
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최대한
(울산대학교 첨단소재공학부)
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- 최비공 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 장호성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 이진희 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 박지혜 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 유용주 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
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김대일
(울산대학교 첨단소재공학부)
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords