Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.121-121
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- 2006
Deposition of Al doped ZnO films using ICP-assisted sputtering on the plastic substrate
유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords