Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study on the Selective Plasma Etching of $ZrO_x$ using $BCl_3/C_4F_8$ Gas Mixture

$BCl_3/C_4F_8$ 가스 조합을 이용한 $ZrO_x$ 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구

  • 오창권 (성균과대학교 신소재공학과) ;
  • 박상덕 (성균과대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균과대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.04.01
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Abstract

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