Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effects of sputtering condition and heat treatment temperature on the microstructures and electrical properties of $SnO_2$ thin films for gas sensor

스퍼터링 조건과 열처리온도가 $SnO_2$ 박막 가스센서의 미세구조와 전기적 성질에 미치는 영향

  • 이진혁 (서울산업대학교 신소재공학과) ;
  • 도정만 (한국과학기술연구원 금속공정센터) ;
  • 강계명 (서울산업대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.04.01
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