Study of the Low Angle Surface Scattering of the Low Energy(<1keV) Ions

Low energy(<1keV)로 입사하는 이온의 low angle surface Scattering 에 대한 연구

  • 민경석 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.04.01