Optical and electrical properties of ITO, AZO single layer and ITO/Ag/ITO, AZO/Ag/AZO multi-layer by RF magnetron sputter

ITO, AZO 단층 박막 및 ITO/Ag/ITO, AZO/Ag/AZO 다층박막의 전기적 광학적 특성

  • 안진형 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김상호 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.04.01