Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

In-situ diagnosis using FT-IR and the characterization of Hf nitride films

  • 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 LAMP) ;
  • 송문균 (포항공과대학교 화학공학과 LAMP)
  • Published : 2006.08.01
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