Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.06a
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  • Pages.161-162
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Development of a Vacuum-Compatible Rotation Table for Fine Pattern Machining using Electron beams

전자빔 미세패턴 가공을 위한 진공용 회전테이블 개발

  • 김경호 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 지능기계연구센터)
  • Published : 2007.06.20
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Abstract

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