Improvement of Micro Force Sensing in Micro Manipulation System

마이크로 머니퓰레이션 시스템상에서의 미세 힘 측정력 향상

  • 구자춘 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 최혁렬 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 하승화 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 최병준 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 인용석 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • ;
  • 이상무 (한국생산기술연구원)
  • Published : 2007.06.20