기판 도금 두께 측정기의 Correlation 평가

Correlation of XRF thickness measuring machine

  • 박진원 (삼성전기 생산기술연구소 생산기술팀) ;
  • 권대현 (삼성전기 생산기술연구소 생산기술팀) ;
  • 윤종민 (삼성전기 생산기술연구소 생산기술팀) ;
  • 성낙윤 (삼성전기 생산기술연구소 생산기술팀) ;
  • 심다미 (삼성전기 생산기술연구소 생산기술팀)
  • 발행 : 2007.06.20