Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.615-616
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

FEM Analysis of Thermal Deformation of High Vacuum Stage and Structural Deformation of Vacuum Chamber

진공용 나노스테이지의 열변형 및 진공챔버 해석기술 연구

강은구 (한국생산기술연구원) ;
홍원표 (한국생산기술연구원) ;
이상무 (한국생산기술연구원) ;
남경태 (한국생산기술연구원) ;
이석우 (한국생산기술연구원)

Published : 2007.06.20

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Abstract

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