A study on indentation of micro spherical array using PZT actuator

PZT 액츄에이터를 이용한 마이크로 구 어레이 타공 연구

  • 이강원 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 유영은 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타)
  • Published : 2007.06.20