A study of the manufacturing technology for micro pattern mold of large area using planing method

평삭에 의한 대면적 미세패턴 금형 가공기술 연구

  • 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 유영은 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 홍성민 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 이응숙 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 나노공정장비 연구센타)
  • Published : 2007.06.20