한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

초정밀 가공을 위한 공작물 셋업 보정용 3자유도 tilting stage의 개발

Development of 3-DOF precise tilting stage for compensating ultra-precision workpiece

  • 김종수 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 양민양 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 최종근 (순천대학교 기계우주항공공학부)
  • 발행 : 2007.06.20
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