Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.40-40
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2007

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Mechanical properties and microstructure of AlcrN films deposited by CFUBMS

CFUBM 스퍼터링으로 합성한 Al-Cr-N 박막의 기계적 특성과 표면 분석

오승천 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
한준희 (한국표준과학연구원)

Published : 2007.11.12

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Abstract

Keywords

CFUBMS;
AlCrN