Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study on the synthesis and physical properties of CrN film with various T-S distance

타겟 - 모재간 거리 제어에 따른 CrN 코팅막 합성 및 물성에 관한 연구

  • 박종인 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 명현식 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 김은영 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 전유택 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 나상묵 (현대하이스코 기술연구소)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

타겟-모재간 거리를 변수로 하여 마그네트론 스퍼터링법에 의해 CrN 박막을 합성하고 미세구조 및 물성을 평가하였다. 타겟-모재간 거리 85mm 및 180mm에서 CrN 박막을 합성하였으며, 합성된 코팅막의 내식 특성을 평가하기 위해 양극분극시험을 수행하였다. 타겟-모재간 거리 변화에 따른 미세구조 변화를 관찰하기 위해 주사전자현미경을 이용하여 박막의 파단면 조직을 관찰하였으며, XRD 분석을 통해 상천이 거동을 관찰하고 이를 물성 결과와 비교 분석하였다.

Keywords