Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

$LiAlO_2$ codoped ZnO 박막의 성장 및 특성 연구

  • 홍준표 (경북대학교, 무기재료공학과) ;
  • 김대윤 (경북대학교, 무기재료공학과) ;
  • 이준형 (경북대학교, 무기재료공학과) ;
  • 김정주 (경북대학교, 무기재료공학과) ;
  • 허영우 (경북대학교, 무기재료공학과)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

ZnO에 Li과 Al이 codoping된 박막을 magnetron spuuter을 이용하여 사파이어 기판 위에 성장하였다. 성장시킨 박막에 대한 구조적, 전기적, 광학적 특성들을 관찰 하였으며, 증착 분위기 조절에 따라서 에피텍셜한 박막을 얻을 수 있었다. $LiAlO_2$ 도핑농도가 증가함에에 따라 전기적으로는 부도체에 가까운 특성을 나타내면서, 광학 밴드갭 에너지가 증가하는 현상을 관찰할 수 있었다.

Keywords