Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.109-111
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- 2007
Synthesis of silicon nitride thin film using pulsed DC magnetron sputtering on polymer substrates
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 $SiN_x$ 합성
Abstract
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 Polymer 및 Glass 기판 위에
Keywords