Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Numerical modeling for pressure uniformity improvement of a large area sputtering system by change of gas distribution configuration

대면적 스퍼터링 장치에서 Gas 분배 구조 변화에 따른 압력 균일도 개선 모델링

  • 김영욱 (군산대학교 신소재.나노화확 공학부) ;
  • 양원균 (군산대학교 신소재.나노화확 공학부 ) ;
  • 구정훈 (군산대학교 신소재.나노화확 공학부)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

대면적 플라즈마 스퍼터링 시스템에서 가스 분배 구조의 변화가 시스템의 압력 균일도에 미치는 영향을 3차원 수치 모델을 통하여 연구하였으며 2 line parallel internal antenna의 경우에 대해서 플라즈마 균일도를 drift diffusion approximation을 이용하여 계산 하였다.

Keywords