한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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Pages.109-110
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

반사광측정법을 이용한 박막의 두께 및 굴절률 측정방법

Simultaneous measurements of refractive index and thickness of a thin-film layer using reflectometry

주우덕 (KAIST 기계항공시스템공학부 정밀측정연구실) ;
김승우 (KAIST 기계항공시스템공학부 정밀측정연구실)

Joo, W.D. ;
Kim, S.W.

발행 : 2008.11.12

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